CO2버블러 - CO2bubbler

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 커팅할 때에 발생하는 정전기가 대전되는 것을 방지하기 위해, 순수(純水) 중에 이산화탄소를 넣어 순수의 비저항값을 낮추는 장치.