CMP폐수처리장치 - CMP waste water treatment equipment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

CMP 프로세스로부터 발생하는 미세입자를 포함하는 폐수를 처리하는 장치. 크게 산화막공정계와 금속배선공정계의 2종류가 있으며, 응집침전과 막분리 등의 방법이 이용되고 있다.