클러스터 툴 - cluster tool

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

다른 장치제조회사의 설비, 또는 다른 프로세스의 결합, 또 반도체 디바이스 제조회사의 독자적인 프로세스모듈의 결합 등을 가능하게 하는 멀티챔버 제조장치.