장시간묘화위치정밀도 - closure long term die to die error

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

묘화를 시작할 때부터 종료할 때까지 발생하는 패턴의 상대적인 위치 부정합의 정밀도. 일반적으로 묘화를 시작하고 종료할 때에 각각을 비교하여 패턴을 묘화하는 방법이 이용되고 있다.