기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
세정평가 - cleaning evaluation
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
세정 후의 웨이퍼 면에 잔류하는 입자, 자연산화막, 유기물 및 금속불순물의 양을 측정하여, 허용값내로 제거되는가를 판단하는 것.
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