세정․건조 장치 - cleaner and dryer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크 블랭크 위에 원화패턴을 형성한 후, 이것들을 세정 및 건조하는 장치로써, 초음파세정장치․스크럽세정장치․고압수분사세정장치․화학세정장치․건조장치 등이 있다. 이들 장치의 용어의 의미는 웨이퍼처리공정의 용어를 참조할 것.