기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
클린튜브시스템 CTS - clean tube system CTS
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
웨이퍼에 대한 오염을 방지하기 위해, 제조장치간, 제조장치와 클린스토커간 등의 반송공정을 포함하는 고청정공간을 튜브로 형성하는 시스템. 국소청정화에 의한 에너지절약 등의 이점이 있다.
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