초퍼기구 - chopper mechanism

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

각종 증착장치에 사용되는 증발원과 웨이퍼과의 사이에 회전슬릿식 셔블(shovel)기구. 증발할 때의 증발량의 미량을 제어할 목적으로 이용되고 있다.