콜린세정액 - choline - based cleaning solution

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

콜린[트리메틸(2-히드록시에틸)암모늄하이드로옥사이드]을 주 용제로한 웨이퍼 세정액. 비이온계면활성제를 혼합한 용액은 중금속 세정성이, H2O2를 혼합한 액은 미립자 제거성이 RCA세정보다 우수하므로 일부에선 실용화되고 있다. 계면활성제와 메타올 첨가의 콜린액에 의한 세정을 Summa Clean이라고 부른다.

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