CMP - chemical mechanical polishing

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

CMP(화학기계연마)는 평탄화기술의 일종으로, 디바이스의 다층구조화로 발생하는 굴곡면을 화학연마제, 패드 등을 사용하여 기계적으로 갈아 평탄화하는 방법.