킬레이트제 첨가세정약품 - chelating agent added cleaning chemical

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

세정액 중의 중금속 불순물이 웨이퍼 처리시에 표면흡착오염이 없도록, 킬레이트제를 첨가한 약품. SC-1액용의 암모니아수가 사용된다. 이 약품으로 조정된 SC-1액으로 세정한 웨이퍼는 보통 약품의 경우보다 Fe와 Al 등의 오염량이 적게 되고, SC-2액 세정을 생략할 수 있다.

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