차지업 - charge - up

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온주입 중에 웨이퍼 위의 절연막 등이 대전(帶電)되는 것. 이 때문에 소자가 이온주입 중에 열화되기도 하고, 파괴되기도 한다. 이것을 방지하기 위해, 전자 플러드건(electron flood gun)이 설치되는 경우가 많다.