챔버클리닝 플라즈마 클리닝 - chamber cleaning plasma cleaning

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반응실 안에 부착된 반응잔유물을 제거하는 방법. 건식식각법으로써 가스를 이용한 화학적식각법(chemical etching)과 반응플라즈마클리닝법이 있다.