센터링 - centering

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼의 중심을 스핀척 위에 위치하도록 하는 것. 중심에서 어긋나면 스핀도포기에 의한 레지스트 막두께의 균일성에 영향을 준다.