일괄 노광 블록 노광 - cell projection block exposure

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

전자빔 노광방식에 하나. 전자광학계로 노광할 때, 개구부를 갖춘 마스크를 설계하여, 개구부의 형상을 시료 위에 전사하는 묘화방식. 이것에 의해 전사된 샷(shot) 수를 줄일 수 있어, 쓰루풋을 향상시킬 수 있다.