CD유니포미티 선폭균일성 - CD uniformity

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

동일한 설계 데이터에 의해 기판 위에 형성된 패턴 선폭 크기의 균일한 정도. 일반적으로, 기준편차값(3σ)으로 표현된다.