기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
임계선폭반복성 - CD repeatability
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
마스크 위의 패턴을 여러 번 측정한 값들의 오차 정도.
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