기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
임계선폭정밀도 - CD accuracy
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
일반적으로, 임계선폭(CD) 즉, 100㎛ 이하 패턴의 선폭과 간극, 패턴 위치 등의 정밀도. 노광량, 현상조건, 식각조건 등의 프로세스 파라메터 관리와 제품의 치수관리에 이용된다.
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