기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
캐소드 타겟전극 - cathode target electrode
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
음극. 스퍼터링장치에 있어서, 음극표면에 타겟이 설치되어 스퍼터링된다.
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