음극결합 - cathode coupling

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

한 쌍의 전극에서, 웨이퍼가 설치된 전극에 고주파를 인가하고, 다른 쪽의 전극을 접지전위로 하는 것.