카세트 전달기 - cassette transfer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

여러 개의 수직형 반응관을 일렬로 나열하여 자동화한 장치의 한 끝에서 카세트를 반응관열을 따라 이동(반송)하고, 각 반응관에 설치된 웨이퍼 자동이송탑재장치에 카세트를 받거나 넘겨주는 장치.