카세트 대 카세트 - cassette - to - cassette handling

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

공급측 카세트에서 웨이퍼를 1장씩 자동적으로 꺼내 처리실로 보내 처리한 후 수납측 카세트에 웨이퍼를 수납하는 방식.