기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
카세트세정장치 - cassette cleaning equipment
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
웨이퍼 반송용 카세트에 부착된 오염입자를 세정제거하는 장치.
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