캐리어가스 - carrier gas

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반도체제조에 사용되는 특수재료가스의 농도를 조절하는데 이용되는 가스, 특수재료가스가 기체의 경우 희석용으로써, 액체 또는 고체의 경우 기화․혼합용으로 사용된다. H2, N2, Ar, He등이 있다.