풀업 건조장치 - capillary drying equipment pull up drying equipment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

60。C 내외 온도의 초순수 속에 웨이퍼를 1㎜/s 정도의 일정속도로 수직으로 끌어올려 건조하는 장치. 웨이퍼와 치구(jig)와의 접촉부의 물방울을 제거하는 기술이 중요하다.