벌크가스 - bulk gas

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반도체제조의 퍼지가스(purge gas), 캐리어가스, 산화가스로써 사용되는 가스. N2, O2, H2, Ar을 가리키며, 특수재료가스에 비교할 때, 대량으로 소비된다.