벌크결함 - bulk defect

Written by MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

실리콘 웨이퍼의 결함을 나타낼 때, 웨이퍼의 표면보다 수㎛이상의 깊이의 부분에 발생하는 결함. 이것에 대응하여, 웨이퍼의 표면에서 10㎛이내의 표면층에서 발생하는 결함은 결정자신뿐만 아니라 가공공정에 기인하는 결함도 포함될 가능성이 있다. 가공에 기인하는 결함을 제외한, 오직 결정때문에 발생하는 결함을 나타내기 위하여, 특히 벌크결함이라고 한다.

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