컵 온도 습도조절 - bowl temperature and humidity control

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트를 도포할 때, 웨이퍼간 균일성향상을 위해, 막두께의 변동요인인 온도와 습도를 일정하게 유지시키는 것