보잉 - bowing

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

실리콘의 트렌치식각 등에 측면 방향의 식각이 진행되어 측벽이 굽어 들어간 모양으로 되는 상태. 다음 공정의 CVD 등에 의한 매립에 악영향을 준다.