휨제어장치 - bow control system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

절단 중에 웨이퍼의 휨을 블레이드 제어, 잉곳 제어 등에 의해, 웨이퍼를 평탄화하거나, 부호를 첨가하여 소정의 휨 양으로 제어하는 장치.