바우 - bow

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

흡착고정되지 않은 상태에서 활 모양으로 굽은 웨이퍼의 중심점과 지정된 기준면에서 웨이퍼 중심면과의 거리.