보트 엘리베이터 - boat elevator

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼의 반송에 사용되는 장치의 하나로, 보트를 상하(수직)방향으로 이동시키고, 각 반응관에 보트를 받거나 넘겨주는 장치.