보트 - boat

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 반응관 안에 넣거나 꺼낼 때 사용되는 기구. 보통 고순도의 석영 또는 SiC를 가공하여 만든다. 이 보트의 장착대에 25～200장 정도의 웨이퍼를 세팅하여 처리한다.