블레이드원점조정 - blade height calibration

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼테이블면에 블레이드를 접촉시켜, 블레이드의 기준높이를 설정하는 것. 블레이드에 데미지가 없고, 광빔을 사용한 블레이드끝부분의 높이 검지기능도 있다.