블레이드 변위계 - blade deflection sensor

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반도체 제조용 절단기에 사용되는 얇은 판 절단용 공구(blade)의 절단중 변위를 측정하는 장치.