벨트리스 반송 - beltless transfer system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크, 웨이퍼 등의 기판을 벨트 등으로 직접 운반하지 않고 진공로봇반송, 자기부상반송으로 운반하는 기판반송기구의 총칭. 종래의 고무밸트, 금속성 스프링벨트를 사용하는 벨트반송은 벨트재료로 인한 오염을 막을 수 없기 때문에, 현재는 벨트리스반송이 주류를 이루고 있다.