빔 안정성 - beam stability

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온빔을 발생시킨 상태에서의 장치의 안정성을 나타내는 지표. 운전자가 장치를 조작하지 않은 상태에서 빔전류가 일정시간 변하는 양(비율)로 나타낸다.