빔 수속계 (收束系) - beam focused lense

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온빔의 초점을 맞추는 렌즈작용을 갖는 부분의 총칭. 정전계 극렌즈, 자계렌즈, 정전4중극렌즈 및 자계4중극렌즈가 있다.