빔전류 프로브전류 - beam current probe current

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

사각형 모양으로 성형되거나, 또는 가우시안빔 모양으로 집속되어, 기판 위에 도달하는 전자빔의 전류량