빔 제어 - beam control

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

일차전자빔의 주사를 회전 및 편향하여, 주사형 전자현미경(SEM)의 회전, 이동제어기와 함께, 전자광학계의 대물렌즈의 여자전류를 제어하여 빛을 한 점으로 모으는 것.