베이시스템 - bay system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

작업반송과 유틸리티서비스, 메인터넌스(maintenance) 영역의 분리를 목적으로, 작업영역과 서비스영역을 서로 바꿔주는 것을 반복하는 베이(bay)형 배치시스템. 주로 웨이퍼처리공정에 이용된다.