배치간 주입균일성 - batch - to - batch dose uniformity

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

기본적으로는 웨이퍼간 주입균일성(재현성)과 같은 의미. 배치처리방식으로 주입하는 경우, 각 배치(batch)마다 평가용 웨이퍼를 탑재하여, 웨이퍼간 주입균일성의 경우와 같은 방법으로 배치간의 부정합을 구하는 것.