베이스라인 - base line

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

오프액시스정렬(off-axis alignment)스코프에 의해 규정된 정렬용 기판. 또는 이 기판에 의한 정렬위치와 노광위치와의 거리.