배럴형 애싱 장치 - barrel

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

배치처리형 애싱장치. 원통형의 석영챔버 안으로 반응가스를 도입하고, 또 고주파전력을 인가하여 애싱하는 장치. 전극 모양에는 대향형(對向型)과 동축형(同軸型)이 있다.