뱅크제어기 - bank controller

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

확산 및 CVD(원통반응관식)의 각 반응 튜프를 일괄하여 제어하기 위한 제어기. 확산 및 CVD 이외의 공정장치의 경우는 동일장치를 일괄제어하는 제어기를 블록(block)제어기라고 한다.