베이킹장치 - baking unit oven

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 가열하여 웨이퍼 표면의 수분을 탈수하기 위해, 도포공정, 또는 현상공정의 전후로 웨이퍼 표면에 도포된 레지스트를 가열처리하는 장치.