베이킹온도 균일성 베이킹온도 분포 - baking temperature uniformity

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

베이킹할 때, 오븐의 온도 균일성. 계산식은 레지스트막두께 균일성을 참조.