백린스 - backside rinse

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트를 도포할 때, 웨이퍼 뒷면으로 돌려서 부착시킨 레지스트를 제거하기 위해 도포 도중(또는 도포한 직후)에 뒷면에 린스액을 분사하여 레지스트를 제거하는 방법. 린스액을 뒷면에 분사하는 것에서 백린스(back rinse)라고도 부른다. 현상처리시에도 뒤면에 오염물을 제거하기 위해 같은 처리를 한다.

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