백사이드데미지 - back side damage

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

외부게터링할 목적으로 Si 웨이퍼의 뒷면에 사이드블러스트법 등으로 균일하게 분포된 미소한 왜곡을 형성하여 포획 중심으로서 작용시키는 방법.