매엽식폴리싱기 - automatic single wafer polishing machine

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

왁스리스(waxless) 연마기에 웨이퍼를 한 장씩 진공흡착 등으로 지지하여, 연마하는 장치. 카세트 투 카세트(cassette to cassette)의 자동기기.